Những năm gần đây chứng kiến sựphát triển nhảy vọt của ngành công nghiệp bán dẫn với những đóng góp quan trọng của nó vào sựbiến chuyển của xã hội loài người. Cùng với đó là nhu cầu tạo nên các thiết bịbán dẫn hoạt động với hiệu suất cao, tiêu thụ điện năng thấp đã thúc đẩy sựphát triển của công nghệnano. Công nghệnano hứa hẹn sẽlà một nên công nghệchủchốt làm đổi thay một các toàn diện đời sống con người. Đó chính là động lực cho những nghiên cứu được tiến hành một cách toàn diện và tỉmỉcác cấu trúc nano thấp chiều đang diễn ra một cách sôi động trên toàn thếgiới Cấu trúc nano với các cấu trúc thấp chiều đã được nghiên cứu và phát triển với nhiều thành tựu to lớn mà trong đó là khảnăng tạo nên các cấu trúc nano 1 chiều bằng cơchếVLS. Khảnăng chếtạo các mạng nano có cấu trúc 1 chiều sắp xếp một cách trật tựtrên đếnền mởra nhiều ứng dụng trong nghiên cứu và phát triển các thiết bịquang tửhọc. Với mong muốn xây dựng một hệchếtạo cấu trúc nano 1 chiều và với sự dẫn dắt của Thầy hướng dẫn, trong đềtài này chúng tôi thực hiện bằng cách xây dựng nên hệnhiệt CVD và tiến hành chếtạo mặt nạ ởkích thước micro-nano bằng phương pháp NSL nhưlà một bước tiên quyết đểcó thểtạo nên các cấu trúc sợi nano ZnO sắp xếp một cách trật tựtrên bềmặt đế.