Các phương pháp thực nghiệm: Phương pháp phún xạ

  • Người chia sẻ : vtlong
  • Số trang : 82 trang
  • Lượt xem : 9
  • Lượt tải : 500
  • Tất cả luận văn được sưu tầm từ nhiều nguồn, chúng tôi không chịu trách nhiệm bản quyền nếu bạn sử dụng vào mục đích thương mại

NHẬP MÃ XÁC NHẬN ĐỂ TẢI LUẬN VĂN NÀY

Nếu bạn thấy thông báo hết nhiệm vụ vui lòng tải lại trang

Bạn đang xem trước 20 trang tài liệu Các phương pháp thực nghiệm: Phương pháp phún xạ, để xem tài liệu hoàn chỉnh bạn click vào nút DOWNLOAD LUẬN VĂN ở trên

Trong phún xạ, năng lượng được chuyển từ ion tới đến nguyên
tử target,
Tại sao sử dụng phương pháp phún xạ?
Phún xạ có độ đồng điều trên diện tích lớn
Dễ kiểm soát thành phần hợp chất
Bề mặt target được rửa trước khi lắng đọng màng, nhằm tẩy các
tạp chất bẩn trên bề mặt