Diode phát quang hữu cơ hay còn gọi là OLED là linh kiện điện phát quang (EL) sử dụng vật liệu hữu cơ àm nhiệm vụ phát ánh sáng, vật liệu hữu cơ phát quang đã đƣợc nghiên cứu từ những năm 50 của thể kỉ 20 và cấu trúc hoàn chỉnh đầu tiên của OLED đƣợc đƣợc C.L.Tang công bố năm 1987 [1]. Trải qua hơn nữa thế kỉ phát triển cấu trúc OLED ngày càng tinh vi hơn và đòi hỏi độ chính xác cao trong công việc thiết kế linh kiện. Việc vi mô hóa linh kiện điện tử không chỉ diễn ra đối với OLED nó xảy ra với hầu hết mọi linh kiện điện tử nhƣ chip xử lý trong CPU máy tính, bo mạch chủ Chính vì thế mà kĩ thuật tạo hình dạng vi mô cũng đƣợc phát triển mạnh mẽ trong thời gian này nổi bật trong số đó à kĩ thuật Photolithography, Photo ithography ra đời từ rất sớm có nền tảng từ thuật in thạch bản (lithography) và đƣợc ứng dụng rộng rãi cho đến ngày nay.