Đề tài Các phương pháp chế tạo màng hóa học
- Người chia sẻ : vtlong
- Số trang : 29 trang
- Lượt xem : 9
- Lượt tải : 500
- Tất cả luận văn được sưu tầm từ nhiều nguồn, chúng tôi không chịu trách nhiệm bản quyền nếu bạn sử dụng vào mục đích thương mại
Bạn đang xem trước 20 trang tài liệu Đề tài Các phương pháp chế tạo màng hóa học, để xem tài liệu hoàn chỉnh bạn click vào nút DOWNLOAD LUẬN VĂN ở trên
Màng nhạy khí/lỏng:
Al2O3,Ta2O5, Si3N4-> màng nhạy pH
ZnO:Ga, SnO2:Sb -> nhạy hơi cồn .
Màng chống ăn mòn:
Tb-Fe-Co hay Tb/Fe-Co
Al-SiO2, Al2O3:Mg
Màng ngăn khuếch tán:
Ta-Si-N, ZnO, Ni (Al/Si trong bán dẫn loại n)
ZnAl3 (Al/Au)
TiN, TiO2 dạng tinh thể hay vô định hình
(PbTiO3/Si)
