Phương pháp phún xạ magnetron rf trong chế tạo màng mỏng
- Người chia sẻ : vtlong
- Số trang : 34 trang
- Lượt xem : 9
- Lượt tải : 500
- Tất cả luận văn được sưu tầm từ nhiều nguồn, chúng tôi không chịu trách nhiệm bản quyền nếu bạn sử dụng vào mục đích thương mại
Bạn đang xem trước 20 trang tài liệu Phương pháp phún xạ magnetron rf trong chế tạo màng mỏng, để xem tài liệu hoàn chỉnh bạn click vào nút DOWNLOAD LUẬN VĂN ở trên
I. PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ
I.1 Phún xạ là gì ?
I.2 Hệ số phún xạ
I.3 Phún xạ Magnetron
II. PHÚN XẠ MAGNETRON RF
II.1 Khái niệm
II.2 Cấu tạo
II.3 Sơ đồ hoạt động
II.4 Nguyên tắc hoạt động
III. KHÓ KHĂN TRONG PP RF
IV. SO SÁNH PHÚN XẠ MAGNETRON RF VỚI DC
