Ngày nay, màng mỏng oxyt dẫn điện trong suốt (TCO) có nhiều ứng dụng nhƣ kỹ thuật màn hình phẳng , kính kiến trúc , năng lƣợng mặt trời Một trong những vật liệu làm màng mỏng thông dụng hiện nay là ZnO pha tạp với các đặc tính nhƣ thân thiện môi truờng ,nguồn dồi dào , độ trong suốt vùng khả kiến và độ dẫn điện cao . Có nhiều tạp chất có thể pha vào ZnO nhƣ Al,Ga,In,Sc.bằng nhiều phƣơng pháp. Nhiều công trình nghiên cứu cho thấy màng ZnO-Al phún xạ bằng phƣơng pháp magnetron đạt đƣợc tính chất cao về độ dẫn điện cũng nhƣ độ truyền qua, tuy nhiên do cách bố trí bia-đế (để tránh sự bắn phá của ion âm) nên vận tốc phún xạ thấp, tiêu tốn vật liệu nhiều, cũng nhƣ không có độ bền nhiệt khi xử lý nhiệt độ cao trong môi trƣờng không khí , do đó màng ZnO-Ga đang đƣợc nghiên cứu để khắc phục các nhƣợc điểm trên.Trong bài này xin giới thiệu màng mỏng ZnO pha Ga bằng phƣơng pháp phún xạ magnetron.